Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1190525801 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Korrelation von Plasma- und Schichteigenschaften bei der reaktiven Plasmasynthese von Hartstoffschichten / Martin Gottfried Engels |
| Person(en) | Engels, Martin Gottfried (Verfasser) |
| Organisation(en) | Shaker Verlag (Verlag) |
| Ausgabe | 1. Auflage |
| Verlag | Düren : Shaker |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2019 |
| Umfang/Format | Online-Ressource, 165 Seiten : 13 Illustrationen (pdf) |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Engels, Martin Gottfried: Korrelation von Plasma- und Schichteigenschaften bei der reaktiven Plasmasynthese von Hartstoffschichten |
| Hochschulschrift | Dissertation, RWTH Aachen University, 2019 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:101:1-2019071407124928559005 |
| ISBN/Einband/Preis | 978-3-8440-6794-1 |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Beziehungen | Schriftenreihe Oberflächentechnik ; 56 |
| Schlagwörter | Kunststoff ; Beschichten ; Chromnitrid ; Aluminiumnitrid ; Hartstoff ; Hochleistungsimpulsmagnetronsputtern ; Dünne Schicht ; Stoffeigenschaft ; Plasmadiagnostik |
| DDC-Notation | 668.414 [DDC23ger]; 671.735 [DDC23ger] |
| Sachgruppe(n) | 660 Technische Chemie ; 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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