Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1161306102 |
| Titel | The Twin Epipoly Process : A Foundry Process Flow for a Microfluidic Application Kit in Silicon/Glass |
| Person(en) | Pirk, Tjalf (Verfasser eines Vorworts) |
| Ausgabe | 1. Auflage |
| Verlag | Aachen : Shaker |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2008 |
| Umfang/Format | Online-Ressource, 165 Seiten : 9 Illustrationen, 115 Illustrationen (pdf) |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: The twin epipoly process |
| Hochschulschrift | Dissertation, Universität Freiburg, 2008 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:101:1-2018061707025586940168 |
| ISBN/Einband/Preis | 978-3-8322-7644-7 |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Beziehungen | Microfluidics & Nanofluidics ; 5 |
| Anmerkungen | Lizenzpflichtig |
| Schlagwörter | Mikrofluidik ; Glas ; Silicium ; Polykristall ; Epitaxieschicht ; Prozesssteuerung |
| DDC-Notation | 629.8042 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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