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Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1361333588
Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel OES-Datenerfassung in reaktiven HPPMS-Prozessen und Datenanalyse mittels künstlicher neuronaler Netze / Christoph Franz Robert Schulze ; Kirsten Bobzin, Rainer Dahlmann
Person(en) Schulze, Christoph Franz Robert (Verfasser)
Bobzin, Kirsten (Akademischer Betreuer)
Dahlmann, Rainer (Akademischer Betreuer)
Verlag Aachen : Universitätsbibliothek der RWTH Aachen
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2025
Umfang/Format Online-Ressource (pdf)
Hochschulschrift Dissertation, RWTH Aachen University, 2024
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2503260034382.051315967380
DOI: 10.18154/RWTH-2025-01997
URL https://publications.rwth-aachen.de/record/1005785 (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Beziehungen Düren : Shaker Verlag, 2025 (Schriftenreihe Oberflächentechnik; 83)
Schlagwörter Hochleistungsimpulsmagnetronsputtern ; Chargenbetrieb ; Prozessüberwachung ; Atomemissionsspektroskopie ; Datenanalyse ; Neuronales Netz
DDC-Notation 671.735 [DDC23ger]
Sachgruppe(n) 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung ; 660 Technische Chemie

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