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Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1042899622
Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Entwicklung neuer TiC-Precursoren für den MOCVD-Prozess / Marlene Münch. Gutachter: Volker Buck. Betreuer: Stephan Schulz
Person(en) Münch, Marlene (Verfasser)
Schulz, Stephan (Akademischer Betreuer)
Buck, Volker (Akademischer Betreuer)
Verlag Duisburg ; Essen : Universitätsbibliothek Duisburg-Essen
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2013
Umfang/Format Online-Ressource
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Münch, Marlene: Entwicklung neuer TiC-Precursoren für den MOCVD-Prozess
Hochschulschrift Duisburg, Essen, Universität Duisburg-Essen, Diss., 2013
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:hbz:464-20131009-075924-6
URL http://duepublico.uni-duisburg-essen.de/servlets/DocumentServlet?id=32031 (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Schlagwörter Aufdampfen
DDC-Notation 671.735 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung

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