Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: Mike and Fischer
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1230314806 |
| Titel | Investigation of the Need for Alternative Cleaning Chemistries for 30Å Gate Oxides / by Amr Bayoumi, Alice Fischer-Colbrie, Russ Parker, Mike Cox, Wayne Greene |
| Person(en) |
Bayoumi, Amr (Verfasser) Fischer-Colbrie, Alice (Verfasser) Parker, Russ (Verfasser) Cox, Mike (Verfasser) Greene, Wayne (Verfasser) |
| Organisation(en) | SpringerLink (Online service) (Sonstige) |
| Umfang/Format | Online-Ressource : online resource. |
| Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:101:1-2021032900113129679812 DOI: 10.1557/PROC-477-247 |
| URL | https://doi.org/10.1557/PROC-477-247 |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 1997 |
| DDC-Notation | 621.38152 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation) |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Beziehungen | Enthalten in: Materials Research Society: MRS online proceedings library (Bd. 477, 10.2.2011, Nr. 1, date:12.1997: 247-252) |
| Sachgruppe(n) | 621.3 Elektrotechnik, Elektronik |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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