Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: dcs=620.1*
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/984790705 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Cu(Ag)-Legierungsschichten als Werkstoff für Leiterbahnen höchstintegrierter Schaltkreise : Herstellung, Gefüge, thermomechanische Eigenschaften, Elektromigrationsresistenz / Steffen Strehle |
| Person(en) | Strehle, Steffen (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2007 |
| Umfang/Format | X, 191 S. : Ill., graph. Darst. ; 21 cm |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Online-Ausgabe: Strehle, Steffen: Cu(Ag)-Legierungsschichten als Werkstoff für Leiterbahnen höchstintegrierter Schaltkreise |
| Hochschulschrift | Dresden, Techn. Univ., Diss., 2007 (Nicht für den Austausch) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Schlagwörter | VLSI ; Integrierte Schaltung ; Dünne Schicht ; Kupferlegierung ; Silberlegierung ; Leiterbahn |
| DDC-Notation | 621.3950284 [DDC22ger]; 620.18297 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Frankfurt |
Signatur: 2007 A 44181 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2007 A 54172 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Leipzig |
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