Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Donnerstag, 11. September 2025: Die Deutsche Nationalbibliothek öffnet wegen eines Beschäftigtentreffens an beiden Standorten erst um 15 Uhr. // Thursday, 11 September 2025: The German National Library will not open until 15:00 due to a staff meeting at both locations.
 
 

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Characterization of multiple frequency driven capacitively coupled plasmas for ferro metallic thin film sputter deposition / Egmont Semmler
Person(en) Semmler, Egmont (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2008
Umfang/Format Online-Ressource, ca. 3,6 MB
Hochschulschrift Bochum, Univ., Diss., 2008
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:hbz:294-23761
URL http://www-brs.ub.ruhr-uni-bochum.de/netahtml/HSS/Diss/SemmlerEgmont/diss.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Englisch (eng)
DDC-Notation 671.735 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung

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