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Titel Single‐Component High‐Resolution Dual‐Tone EUV Photoresists Based on Precision Self‐Immolative Polymers
Person(en) Cen, Jie (Verfasser)
Liu, Wen (Verfasser)
Xu, Jie (Verfasser)
Wang, Xiuxia (Verfasser)
Zhang, Jialin (Verfasser)
Zhang, Jin (Verfasser)
Deng, Zhengyu (Verfasser)
Zhou, Chenggang (Verfasser)
Hu, Jinming (Verfasser)
Liu, Shiyong (Verfasser)
Umfang/Format Online-Ressource (pdf)
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2410311347133.915807423402
DOI: 10.1002/anie.202415588
URL https://doi.org/10.1002/anie.202415588
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 31.10.2024
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Angewandte Chemie / International edition (31.10.2024. 11 S.)

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