Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1161300554 |
| Titel | Schallwandler in Silizium-Technologie / Kathrin van Teeffelen |
| Person(en) | Teeffelen, Kathrin van (Verfasser) |
| Ausgabe | 1. Auflage |
| Verlag | Aachen : Shaker |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2009 |
| Umfang/Format | Online-Ressource, 151 Seiten : 36 Illustrationen (pdf) |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Teeffelen, Kathrin van: Schallwandler in Silizium-Technologie |
| Hochschulschrift | Dissertation, Universität des Saarlandes, Saarbrücken, 2009 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:101:1-2018061705481639067440 |
| ISBN/Einband/Preis | 978-3-8322-8657-6 |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Beziehungen | Aktuelle Berichte aus der Mikrosystemtechnik - Recent Developments in MEMS |
| Anmerkungen | Lizenzpflichtig |
| Schlagwörter |
Kondensatormikrofon ; MEMS ; Technische Membran ; Opferschicht ; Siliciumdioxid ; Herstellung Kondensatormikrofon ; MEMS ; Technische Membran ; Opferschicht ; Silicium ; Germanium |
| DDC-Notation | 621.38284 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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