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Titel Prozessoptimierung zur Ausbeuteerhöhung von unipolaren 4H-SiC-Leistungsbauelementen / Holger Schlichting ; Gutachter: Georg Fischer ; Betreuer: Tobias Erlbacher
Person(en) Schlichting, Holger (Verfasser)
Erlbacher, Tobias (Akademischer Betreuer)
Fischer, Georg (Gutachter)
Verlag Erlangen : Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2025
Umfang/Format Online-Ressource
Hochschulschrift Dissertation, Erlangen, Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU), 2025
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2505160515385.557786315480
DOI: 10.25593/open-fau-1860
URL (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Schlagwörter Prozessoptimierung* ; Siliciumcarbid* ; MOS-FET* (*maschinell ermittelt)
DDC-Notation 666.04 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sachgruppe(n) 660 Technische Chemie

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