Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1003362877 |
Art des Inhalts | Hochschulschrift |
Titel | Organic peracid etches : a new class of chromium-free etching solutions for the delineation of defects in thin silicon films / by Daniel Georg Possner |
Person(en) | Possner, Daniel Georg (Verfasser) |
Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2009 |
Umfang/Format | 1 CD-RW ; 12 cm + Beil. ([2] Bl.) |
Andere Ausgabe(n) | Digitale Übertragung: Possner, Daniel Georg: Organic peracid etches |
Hochschulschrift | Frankfurt (Main), Univ., Diss., 2009 |
Sprache(n) | Englisch (eng) |
Anmerkungen | Titel auf der Beil. |
Schlagwörter | Kristallstruktur ; Silicium ; Oberflächenchemie |
DDC-Notation | 548.81 [DDC22ger]; 546.68353 [DDC22ger] |
Sachgruppe(n) | 540 Chemie |
Frankfurt |
Signatur: 2010 CRA 6114
Bereitstellung in Frankfurt |
Leipzig |
Signatur: 2010 DT 2758
Bereitstellung in Leipzig |
