Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Donnerstag, 11. September 2025: Die Deutsche Nationalbibliothek öffnet wegen eines Beschäftigtentreffens an beiden Standorten erst um 15 Uhr. // Thursday, 11 September 2025: The German National Library will not open until 15:00 due to a staff meeting at both locations.
 
 

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Titel Towards smart scanning probe lithography: a framework accelerating nano-fabrication process with in-situ characterization via machine learning / by Yijie Liu, Xuexuan Li, Ben Pei, Lin Ge, Zhuo Xiong, Zhen Zhang
Person(en) Liu, Yijie (Verfasser)
Li, Xuexuan (Verfasser)
Pei, Ben (Verfasser)
Ge, Lin (Verfasser)
Xiong, Zhuo (Verfasser)
Zhang, Zhen (Verfasser)
Organisation(en) SpringerLink (Online service) (Sonstige)
Umfang/Format 1 Online-Ressource.
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2024021209571817897709
DOI: 10.1038/s41378-023-00587-z
URL https://doi.org/10.1038/s41378-023-00587-z
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2023
DDC-Notation 620.5 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Microsystems & nanoengineering (Bd. 9, 10.10.2023, Nr. 1, date:12.2023: 1-14)
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

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