Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/970669615 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Modifikationen von Silizium-Grenzflächen für die MOS-Technologie / von Torsten Sulima |
| Person(en) | Sulima, Torsten (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2003 |
| Umfang/Format | Online-Ressource, ca. 11,1 MB |
| Hochschulschrift | München, Univ. der Bundeswehr, Diss., 2003 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:bvb:706-700 |
| URL |
http://ub.unibw-muenchen.de/dissertationen/ediss/sulima-torsten/inhalt.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich) http://137.193.200.177/ediss/sulima-torsten/meta.html (Verlag) |
| Schlagwörter | Silicium ; Halbleitergrenzfläche ; Modifikation <Kristallographie> ; MOS |
| DDC-Notation | 537.6221 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 530 Physik |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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