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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Sensoren zur berührungslosen Messung der elektrischen Leitfähigkeit dünner Schichten / von Gernot Ernst Thorn
Person(en) Thorn, Gernot Ernst (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 1995
Umfang/Format II, 78 S. : graph. Darst. ; 21 cm
Hochschulschrift Darmstadt, Techn. Hochsch., Diss., 1995
Schlagwörter Dünne Schicht ; Elektrische Leitfähigkeit ; Prozessmesstechnik ; Inprozesskontrolle
Sachgruppe(n) 37 Elektrotechnik ; 29 Physik, Astronomie
Weiterführende Informationen Inhaltsverzeichnis

Frankfurt Signatur: H 1995 A 7035
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: H 1995 A 7035
Bereitstellung in Leipzig




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