Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1059344092 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Neue Membransensoren mit porösem Silizium / Kathrin Gutsche |
| Person(en) | Gutsche, Kathrin (Verfasser) |
| Ausgabe | 1. Aufl. |
| Verlag | Aachen : Shaker |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2014 |
| Umfang/Format | Online-Ressource : 32 farb. Ill. (pdf) |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Gutsche, Kathrin: Neue Membransensoren mit porösem Silizium |
| Hochschulschrift | Zugl.: Universität des Saarlandes, Saarbrücken, Diss., 2013 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:101:1-201410124727 |
| ISBN/Einband/Preis | 978-3-8440-3044-0 |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Beziehungen | Aktuelle Berichte aus der Mikrosystemtechnik - Recent Developments in MEMS ; 26 |
| Anmerkungen | Lizenzpflichtig |
| Schlagwörter | Siliciumsensor ; Drucksensor ; Kapazitiver Sensor ; Technische Membran ; Herstellung ; Silicium ; Poröser Stoff ; Epitaxieschicht |
| DDC-Notation | 681.2 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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