Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1214245765 |
Art des Inhalts | Hochschulschrift |
Titel | RF überlagertes DC-Sputtern von transparenten leitfähigen Oxiden / Bruno Heimke ; Gutachter: Frank Richter, Jörg Weber ; Betreuer: Frank Richter |
Person(en) |
Heimke, Bruno (Verfasser) Richter, Frank (Akademischer Betreuer) Richter, Frank (Gutachter) Weber, Jörg (Gutachter) |
Verlag | Chemnitz : Universitätsbibliothek Chemnitz - Chemnitz : Universitätsverlag der Technischen Universität Chemnitz |
Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2013 |
Umfang/Format | Online-Ressource |
Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als: ISBN: 978-3-941003-90-3 |
Hochschulschrift | Dissertation, Chemnitz, Technische Universität Chemnitz, 2013 |
Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa-116687 |
URL | (kostenfrei zugänglich) |
Sprache(n) | Deutsch (ger) |
Schlagwörter | Transparent-leitendes Oxid ; Dünne Schicht ; Hochfrequenzsputtern |
DDC-Notation | 530.4175 [DDC22ger] |
Sachgruppe(n) | 530 Physik |
Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
