Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/978021134 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Strukturbreitenbestimmung für die sub-100-nm-Lithographie mittels spektralellipsometrischer Beugungsmessung / vorgelegt von Andrea Weidner |
| Person(en) | Weidner, Andrea (Verfasser) |
| Verlag | Aachen : Shaker |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: [2006] |
| Umfang/Format | Online-Ressource, ca. 2,3 MB |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Weidner, Andrea: Strukturbreitenbestimmung für die sub 100nm-Lithographie mittels spektralellipsometrischer Beugungsmessung |
| Hochschulschrift | Zugl.: Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 2005 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:bvb:29-opus-2935 |
| URL |
http://www.opus.ub.uni-erlangen.de/opus/volltexte/2006/293/pdf/dissertation_weidner_2005.pdf (Verlag) http://www.opus.ub.uni-erlangen.de/opus/volltexte/2006/293/index.html (Verlag) |
| ISBN/Einband/Preis |
978-3-8322-4678-5 3-8322-4678-9 |
| Beziehungen | Erlanger Berichte Mikroelektronik ; Bd. 2005,4 |
| Schlagwörter | Nanostruktur ; Längenmessung ; Beugungsgitter ; Lichtbeugung ; Numerisches Modell ; Online-Publikation |
| Sachgruppe(n) | 530 Physik ; 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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