Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1000340139 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Seltenerd-basierte ternäre Oxide als alternative Gatedielektrika / Jens Martin Roeckerath. Forschungszentrum Jülich GmbH, Institut für Bio- und Nanosysteme (IBN), Halbleiter-Nanoelektronik (IBN-1). [Hrsg.: Forschungszentrum Jülich GmbH, Zentralbibliothek] |
| Person(en) | Roeckerath, Jens Martin (Verfasser) |
| Ausgabe | [Online-Ausg.] |
| Sekundärausgabe | Online-Ausg.: [Aachen] : [Bibliothek der Techn. Hochsch.], 2008. Online-Ressource |
| Verlag | Jülich : Forschungszentrum, Zentralbibliothek |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2008 |
| Umfang/Format | 148 S. : Ill., graph. Darst. ; 24 cm (PDF) |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Roeckerath, Jens Martin: Seltenerd-basierte ternäre Oxide als alternative Gatedielektrika |
| Hochschulschrift | Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2008 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:hbz:82-opus-25377 |
| URL | http://darwin.bth.rwth-aachen.de/opus3/volltexte/2008/2537/ (Verlag) (kostenfrei zugänglich) |
| ISBN/Einband/Preis | 978-3-89336-543-2 |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Beziehungen | Forschungszentrum Jülich: Schriften des Forschungszentrums Jülich / Reihe Information ; Bd. 3 |
| Schlagwörter | High-k-Dielektrikum ; Impulslaserbeschichten ; CVD-Verfahren ; Elektronenstrahlverdampfen ; MOS-FET |
| DDC-Notation | 621.3815284 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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