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Artikel
Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1226084974
Titel Charging and Aging Effects in Porous ULK Dielectrics / by Cyril Guedj, Eugenie Martinez, Gregory Imbert
Person(en) Guedj, Cyril (Verfasser)
Martinez, Eugenie (Verfasser)
Imbert, Gregory (Verfasser)
Organisation(en) SpringerLink (Online service) (Sonstige)
Umfang/Format Online-Ressource : online resource.
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2021013120362120411605
DOI: 10.1557/PROC-0990-B06-03
URL https://doi.org/10.1557/PROC-0990-B06-03
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2007
DDC-Notation 620.5 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Materials Research Society: MRS online proceedings library (Bd. 990, 30.12.2007, Nr. 1, date:12.2006: 1-8)
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

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