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Titel Pulsed laser deposition of silicon nitride thin films by laser ablation of a Si target in low pressure ammonia / by I. N. Mihailescu, Adriana Lita, V. S. Teodorescu, A. Luches, M. Martino, A. Perrone, Maria Gartner
Person(en) Mihailescu, I. N. (Verfasser)
Lita, Adriana (Verfasser)
Teodorescu, V. S. (Verfasser)
Luches, A. (Verfasser)
Martino, M. (Verfasser)
Perrone, A. (Verfasser)
Gartner, Maria (Verfasser)
Organisation(en) SpringerLink (Online service) (Sonstige)
Umfang/Format Online-Ressource : online resource.
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2020021702523757338245
DOI: 10.1007/BF00355991
URL https://doi.org/10.1007/BF00355991
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 1996
DDC-Notation 530.4175 [DDC23ger]
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Journal of materials science (Bd. 31, 1.6.1996, Nr. 11, date:6.1996: 2839-2847)
Sachgruppe(n) 530 Physik

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