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Titel Analytical modeling of mechanical behavior for MEMS/NEMS-based single-clamped multilayer resonators with symmetrical complex shapes / by Eustaquio Martínez-Cisneros, Luis A. Velosa-Moncada, Ernesto A. Elvira-Hernández, Daniel González-Esparza, Luz Antonio Aguilera-Cortés, Francisco López-Huerta, Agustín L. Herrera-May
Person(en) Martínez-Cisneros, Eustaquio (Verfasser)
Velosa-Moncada, Luis A. (Verfasser)
Elvira-Hernández, Ernesto A. (Verfasser)
González-Esparza, Daniel (Verfasser)
Aguilera-Cortés, Luz Antonio (Verfasser)
López-Huerta, Francisco (Verfasser)
Herrera-May, Agustín L. (Verfasser)
Organisation(en) SpringerLink (Online service) (Sonstige)
Umfang/Format Online-Ressource : online resource.
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2020110620402152731562
DOI: 10.1007/s00542-020-05030-1
URL https://doi.org/10.1007/s00542-020-05030-1
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2020
DDC-Notation 621.3815 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Microsystem technologies (17.9.2020: 1-16)
Sachgruppe(n) 621.3 Elektrotechnik, Elektronik

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