Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Servicezeiten in Frankfurt am Main ab 1. Dezember 2025: Montag bis Freitag 9–18 Uhr und Samstag 10–16 Uhr
Service hours in Frankfurt am Main from 1 December 2025: Monday to Friday 9:00-18:00 and Saturday 10:00-16:00
 
Neuigkeiten Wegen Wartungsarbeiten ist vom 12. bis 14. Januar 2026 der Museumslesesaal, sowie vom 14. bis 16. Januar 2026 der Musiklesesaal geschlossen. // Due to maintenance work the museum reading room will be closed from 12 to 14 January 2026 and the music reading room from 14 to 16 January 2026.
 
 

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Titel Fabrication of sub-100 nm h-PDMS tip array for tip-based nanolithography by electrochemical machining / by Yuan-Jen Chang, Jian-Ming Liao
Person(en) Chang, Yuan-Jen (Verfasser)
Liao, Jian-Ming (Mitwirkender)
Organisation(en) SpringerLink (Online service) (Herausgebendes Organ)
Umfang/Format Online-Ressource : online resource.
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:1111-2016031112436
DOI: 10.1007/s00542-016-2883-6
URL http://dx.doi.org/10.1007/s00542-016-2883-6
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2016
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Microsystem technologies (3.3.2016: 1-6)

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