Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: "BÖTTCHER" and "Catharina"
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1226081355 |
| Titel | 3D TSV - Influence of electrolyte composites and anneal temperatures to copper protrusion and planarization / by Catharina Rudolph, Holger Wachsmuth, Irene Bartusseck, Michael Parthenopoulos, Loana Goerner, Mathias Boettcher, Juergen Grafe, Juergen M. Wolf |
| Person(en) |
Rudolph, Catharina (Verfasser) Wachsmuth, Holger (Verfasser) Bartusseck, Irene (Verfasser) Parthenopoulos, Michael (Verfasser) Goerner, Loana (Verfasser) Boettcher, Mathias (Verfasser) Grafe, Juergen (Verfasser) Wolf, Juergen M. (Verfasser) |
| Organisation(en) | SpringerLink (Online service) (Sonstige) |
| Umfang/Format | Online-Ressource : online resource. |
| Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:101:1-2021013119571528689283 DOI: 10.1557/opl.2013.904 |
| URL | https://doi.org/10.1557/opl.2013.904 |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2013 |
| DDC-Notation | 577.14 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation) |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Beziehungen | Enthalten in: Materials Research Society: MRS online proceedings library (Bd. 1560, 1.09.2013, Nr. 1, date:12.2013: 1-11) |
| Sachgruppe(n) | 570 Biowissenschaften, Biologie |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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