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Bücher
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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Ein Beitrag zur modellgestützten Charakterisierung komplexer Halbleiter-Nanostrukturen mittels Weißlicht-Müller-Matrix-Fourier-Scatterometrie / vorgelegt von Maria Laura Gödecke, M. Sc. ; Hauptberichter: Prof. Dr. W. Osten
Person(en) Gödecke, Maria Laura (Verfasser)
Osten, Wolfgang (Akademischer Betreuer)
Verlag Stuttgart : Institut für Technische Optik, Universität Stuttgart
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2023
Umfang/Format xxviii, 142 Seiten : Illustrationen, Diagramme ; 21 cm
Hochschulschrift Dissertation, Universität Stuttgart, 2023
ISBN/Einband/Preis 978-3-948570-19-4 Broschur
3-948570-19-1
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Universität Stuttgart. Institut für Technische Optik: Berichte aus dem Institut für Technische Optik ; Nr. 120
Sachgruppe(n) 530 Physik ; 621.3 Elektrotechnik, Elektronik
Weiterführende Informationen Inhaltsverzeichnis

Frankfurt Signatur: 2024 AA 15551
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: 2024 AA 7168
Bereitstellung in Leipzig




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