Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: "Sturm"
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1372380353 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Entwicklung von Siliziumnitrid (Si3N4) und Siliziumkarbid (SiC) Beschichtungssystemen durch reaktive Umwandlung von Silizium für die Anwendung in der Halbleitermaterialherstellung und -prozessierung / Felix Sturm ; Gutachter: Joerg Schulze, Johannes Heitmann ; Betreuer: Joerg Schulze |
| Person(en) |
Sturm, Felix (Verfasser) Schulze, Joerg (Akademischer Betreuer) Schulze, Joerg (Gutachter) Heitmann, Johannes (Gutachter) |
| Verlag | Erlangen : Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2025 |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Hochschulschrift | Dissertation, Erlangen, Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU), 2025 |
| Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:101:1-2507250518530.271409147529 DOI: 10.25593/open-fau-2110 |
| URL | (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Schlagwörter | Siliciumcarbid* ; Silicium* ; Beschichtung* ; Keramischer Werkstoff* ; Herstellung* ; Beschichten* (*maschinell ermittelt) |
| DDC-Notation | 666.04 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation) |
| Sachgruppe(n) | 660 Technische Chemie |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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