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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Untersuchung und Beschreibung physikalischer Mechanismen von Adhäsion in mikromechanischen Inertialsensoren / von Hermann Arnold Rump
Person(en) Rump, Hermann Arnold (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2001
Umfang/Format ca. 2,4 MB
Hochschulschrift Halle (Saale), Univ., Diss., 2001
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:gbv:3-000002138
URL http://sundoc.bibliothek.uni-halle.de/diss-online/01/01A7186/prom.pdf
Schlagwörter Fahrdynamik ; Beschleunigungssensor ; Mikromechanik ; Miniaturisierung ; Adhäsion ; Oberfläche
Beschleunigungssensor ; Mikromechanik ; Kondensator ; Interdigitalstruktur ; Berührungsfläche ; Adhäsion
Sachgruppe(n) 37 Elektrotechnik ; 36 Energie-, Maschinen-, Fertigungstechnik ; 29 Physik, Astronomie

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