Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1119808421 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Herstellung von Aluminiumnitrid Dünnschichten mittels Magnetron Sputtern auf Diamant für potentielle Pseudo-Surface-Acoustic-Wave-Anwendungen / Michael Vogel |
| Person(en) | Vogel, Michael (Verfasser) |
| Verlag | Siegen : Universitätsbibliothek der Universität Siegen |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2016 |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Hochschulschrift | Dissertation, Siegen, Universität Siegen, 2016 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:hbz:467-10414 |
| URL | http://dokumentix.ub.uni-siegen.de/opus/volltexte/2016/1041/ (Verlag) (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Beziehungen | Schriftenreihe der Arbeitsgruppe des Lehrstuhls für Oberflächen- und Werkstofftechnologie im Institut für Werkstofftechnik ; 11 |
| Schlagwörter |
Sputtern ; Aluminiumnitrid ; Diamant Diamant* ; Aluminiumnitrid* ; Dünne Schicht* ; Sputtern* ; Rasterkraftmikroskopie* ; Herstellung* ; Magnetron* ; Röntgenfeinstrukturanalyse* (*maschinell ermittelt) |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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