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Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1225464218
Titel Topography Reduction During Barrier CMP Improved Due to Tantalum Oxidation / by Paul Lefevre, Katsuyoshi Ina, Kenji Sakai, Kazusei Tamai, Scott Rader
Person(en) Lefevre, Paul (Verfasser)
Ina, Katsuyoshi (Verfasser)
Sakai, Kenji (Verfasser)
Tamai, Kazusei (Verfasser)
Rader, Scott (Verfasser)
Organisation(en) SpringerLink (Online service) (Sonstige)
Umfang/Format Online-Ressource : online resource.
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2021012020461814233076
DOI: 10.1557/PROC-732-I4.5
URL https://doi.org/10.1557/PROC-732-I4.5
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2002
DDC-Notation 671.7 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Materials Research Society: MRS online proceedings library (Bd. 732, 1.2.2011, Nr. 1, date:12.2002: 1-6)
Sachgruppe(n) 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung

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