Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1056066520 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | 3D Simulation of Sputter Etching with the Monte-Carlo Approach / Daniel Kunder. Betreuer: Peter Pichler |
| Person(en) |
Kunder, Daniel (Verfasser) Pichler, Peter (Akademischer Betreuer) |
| Verlag | Erlangen : Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2011 |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: 3D simulation of sputter etching with the Monte-Carlo approach |
| Hochschulschrift | Erlangen, Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU), Diss., 2010 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:bvb:29-opus-22987 |
| URL | http://opus4.kobv.de/opus4-fau/frontdoor/index/index/docId/1579 (Verlag) (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Schlagwörter | Sputtern ; Computersimulation ; Monte-Carlo-Simulation |
| DDC-Notation | 671.735 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung ; 621.3 Elektrotechnik, Elektronik |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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