Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Servicezeiten in Frankfurt am Main ab 1. Dezember 2025: Montag bis Freitag 9–18 Uhr und Samstag 10–16 Uhr
Service hours in Frankfurt am Main from 1 December 2025: Monday to Friday 9:00-18:00 and Saturday 10:00-16:00
 
Neuigkeiten Dienstag 9. Dezember 2025: Die Lesesäle der Deutschen Nationalbibliothek in Leipzig öffnen wegen einer Personalversammlung erst ab 13 Uhr. // Tuesday 9 December 2025: The reading rooms of the German National Library in Leipzig will open at 13:00 due to a staff assembly.
 
 

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Titel Aufbau eines In-situ-IR-Spektralellipsometers zur Charakterisierung plasmadeponierter C:H-Schichten : design of an in-situ spectroscopic IR ellipsometer for characterization of plasma-deposited C:H films / Armin Friedl. Max-Planck-Institut für Plasmaphysik Garching bei München
Person(en) Friedl, Armin (Verfasser)
Ausgabe Als Ms. gedr.
Verlag Garching bei München : Max-Planck-Inst. für Plasmaphysik
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 1994
Umfang/Format 91 S. : graph. Darst. ; 30 cm
ISBN/Einband/Preis kart.
Identifikationsnummern Reportnummer: IPP 4 267
Anmerkungen Literaturverz. S. 88 - 91
Status nach VGG: vergriffen
Sachgruppe(n) 29 Physik, Astronomie
Weiterführende Informationen Inhaltsverzeichnis

Frankfurt Signatur: 1994 B 3511
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: 1994 B 3511
Bereitstellung in Leipzig




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