Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: Ina and Paul
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1225464218 |
| Titel | Topography Reduction During Barrier CMP Improved Due to Tantalum Oxidation / by Paul Lefevre, Katsuyoshi Ina, Kenji Sakai, Kazusei Tamai, Scott Rader |
| Person(en) |
Lefevre, Paul (Verfasser) Ina, Katsuyoshi (Verfasser) Sakai, Kenji (Verfasser) Tamai, Kazusei (Verfasser) Rader, Scott (Verfasser) |
| Organisation(en) | SpringerLink (Online service) (Sonstige) |
| Umfang/Format | Online-Ressource : online resource. |
| Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:101:1-2021012020461814233076 DOI: 10.1557/PROC-732-I4.5 |
| URL | https://doi.org/10.1557/PROC-732-I4.5 |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2002 |
| DDC-Notation | 671.7 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation) |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Beziehungen | Enthalten in: Materials Research Society: MRS online proceedings library (Bd. 732, 1.2.2011, Nr. 1, date:12.2002: 1-6) |
| Sachgruppe(n) | 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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