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Neuigkeiten Dienstag 18. November 2025: Die Lesesäle der Deutschen Nationalbibliothek in Frankfurt am Main öffnen wegen einer Personalversammlung erst ab 13 Uhr. // Tuesday 18 November 2025: The reading rooms of the German National Library in Frankfurt am Main will open at 13:00 due to a staff assembly.
 
 

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Entwicklung neuer physikalischer Optimierungs- und Regelungsverfahren für thermische Reaktoren in der Halbleiterprozessierung / Thomas Schafbauer
Person(en) Schafbauer, Thomas (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2001
Umfang/Format ca. 4,1 MB
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Schafbauer, Thomas: Entwicklung neuer physikalischer Optimierungs- und Regelungsverfahren für thermische Reaktoren in der Halbleiterprozessierung
Hochschulschrift München, Techn. Univ., Diss., 2001
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:bvb:91-diss2001040215442
URL http://tumb1.biblio.tu-muenchen.de/publ/diss/ei/2001/schafbauer.pdf
Schlagwörter Rapid thermal processing ; Halbleitertechnologie ; Siliciumbauelement ; Prozessregelung ; Prozessoptimierung ; Online-Publikation
Sachgruppe(n) 37 Elektrotechnik

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