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Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1102533564
Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel A New Deep X-Ray Lithography Beamline at DELTA : Setup and Performance / Daniela Lietz. Betreuer: Metin Tolan. Gutachter: Thomas Weis
Person(en) Lietz, Daniela (Verfasser)
Tolan, Metin (Akademischer Betreuer)
Weis, Thomas (Gutachter)
Verlag Dortmund : Universitätsbibliothek Dortmund
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2011
Umfang/Format Online-Ressource
Hochschulschrift Dissertation, Dortmund, Technische Universität, 2010
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-201606032433
Handle: 2003/27600
URL http://hdl.handle.net/2003/27600 (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Englisch (eng)
Sachgruppe(n) 530 Physik

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