Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: dcs=621.3*
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/982814763 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Auf Tantal-Silizium basierende Diffusionsbarrieren zur Verkapselung funktionaler Bauelemente / vorgelegt von Henning Heuer |
| Person(en) | Heuer, Henning (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2006 |
| Umfang/Format | Online-Ressource, ca. 7,4 MB |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Heuer, Henning: Auf Tantal-Silizium basierende Diffusionsbarrieren zur Verkapselung funktionaler Bauelemente |
| Hochschulschrift | Cottbus, Techn. Univ., Diss., 2006 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:kobv:co1-opus-10 |
| URL |
http://se6.kobv.de:8000/btu/volltexte/2006/1/pdf/Diss_Heuer.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich) http://se6.kobv.de:8000/btu/volltexte/2006/1/ (Verlag) |
| Schlagwörter | Tantal ; Solarzelle ; Verkapselung |
| DDC-Notation | 621.31244 [DDC22ger]; 621.38152 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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