Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1174426039 |
| Titel | Herstellung von Mikrostrukturen mittels Zwei-Photonen-Lithographie und Imprint-Lithographie / Xiaoqiang Hou |
| Person(en) | Hou, Xiaoqiang (Verfasser) |
| Organisation(en) | Verlag Dr. Hut (München) (Verlag) |
| Verlag | München : Verlag Dr. Hut |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2018 |
| Umfang/Format | Online-Ressource, 146 Seiten |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Hou, Xiaoqiang: Herstellung von Mikrostrukturen mittels Zwei-Photonen-Lithographie und Imprint-Lithographie |
| Hochschulschrift | Dissertation, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg im Breisgau, 2018 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:101:1-2018122822354580967959 |
| URL | http://www.dr.hut-verlag.de/978-3-8439-3847-1.html (Verlag) |
| ISBN/Einband/Preis | 978-3-8439-3847-1 |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Beziehungen | Mikrosystemtechnik |
| Anmerkungen | Lizenzpflichtig. - Vom Verlag als Druckwerk on demand und/oder als E-Book angeboten |
| Schlagwörter | Mikrostruktur* ; Lithografie <Halbleitertechnologie>* ; Photon* ; Mikromechanik* ; Oberfläche* (*maschinell ermittelt) |
| DDC-Notation | 535 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation) |
| Sachgruppe(n) | 530 Physik |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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