Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Servicezeiten in Frankfurt am Main ab 1. Dezember 2025: Montag bis Freitag 9–18 Uhr und Samstag 10–16 Uhr
Service hours in Frankfurt am Main from 1 December 2025: Monday to Friday 9:00-18:00 and Saturday 10:00-16:00
 
Neuigkeiten Wegen Wartungsarbeiten ist vom 12. bis 14. Januar 2026 der Museumslesesaal, sowie vom 14. bis 16. Januar 2026 der Musiklesesaal geschlossen. // Due to maintenance work the museum reading room will be closed from 12 to 14 January 2026 and the music reading room from 14 to 16 January 2026.
 
 

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Titel Using Machine Learning Methods to Predict the Magnitude and the Direction of Mask Fragments Displacement in Optical Proximity Correction (OPC) / by P. E. Tryasoguzov, A. V. Kuzovkov, I. M. Karandashev, G. S. Teplov
Person(en) Tryasoguzov, P. E. (Verfasser)
Kuzovkov, A. V. (Verfasser)
Karandashev, I. M. (Verfasser)
Teplov, G. S. (Verfasser)
Organisation(en) SpringerLink (Online service) (Sonstige)
Umfang/Format Online-Ressource : online resource.
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2022041819344341334822
DOI: 10.3103/S1060992X21040056
URL https://doi.org/10.3103/S1060992X21040056
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2021
DDC-Notation 006.31 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Optical memory and neural networks (Bd. 30, 29.12.2021, Nr. 4, date:10.2021: 291-297)
Sachgruppe(n) 004 Informatik

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