Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/979449200 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Interferenzlithographie mit hochaufbauenden Resistsystemen / vorgelegt von Jörg Mick |
| Person(en) | Mick, Jörg (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2006 |
| Umfang/Format | Online-Ressource, ca. 21,1 MB |
| Hochschulschrift | Freiburg (Breisgau), Univ., Diss., 2006 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:bsz:25-opus-24143 |
| URL |
http://www.freidok.uni-freiburg.de/freidok/volltexte/2006/2414/pdf/Interferenzlithographie_mit_hochaufbauenden_Resistsystemen.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich) http://www.freidok.uni-freiburg.de/volltexte/2414/index.html (Verlag) |
| Anmerkungen | Erscheinungsjahr an der Haupttitelstelle: 2005 |
| Schlagwörter | Photoresist ; Interferenz ; Lithographie ; Galvanotechnik ; Replikation |
| DDC-Notation | 621.381531 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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