Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: dcs=621.3*
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/993288448 |
| Art des Inhalts | Konferenzschrift, 2009, Dresden |
| Titel | EMLC 2009 : lectures held at the GMM conference, January 12 - 15, 2009 in Dresden, Germany / 25th European Mask and Lithography Conference ... |
| Organisation(en) | EMLC (25 : 2009 : Dresden) (Herausgebendes Organ) |
| Verlag | Berlin ; Offenbach : VDE-Verl. |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2009 |
| Umfang/Format | 1 CD-ROM ; 12 cm, 56 gr. |
| ISBN/Einband/Preis | 978-3-8007-3154-1 : EUR 167.00 |
| Bestellnummer(n) | 453154 |
| EAN | 9783800731541 |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Beziehungen | Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik: GMM-Fachbericht ; 59 |
| Anmerkungen | Titel auf dem Behältnis |
| Schlagwörter |
Maskentechnik ; Kongress ; Dresden <2009> ; CD-ROM Fotolithografie <Halbleitertechnologie> ; Kongress ; Dresden <2009> ; CD-ROM |
| DDC-Notation | 621.38152 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Frankfurt |
Signatur: 2009 CRA 110
Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2009 CRA 1081
Bereitstellung in Leipzig |
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