Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Servicezeiten in Frankfurt am Main ab 1. Dezember 2025: Montag bis Freitag 9–18 Uhr und Samstag 10–16 Uhr
Service hours in Frankfurt am Main from 1 December 2025: Monday to Friday 9:00-18:00 and Saturday 10:00-16:00
 
Neuigkeiten Dienstag 9. Dezember 2025: Die Lesesäle der Deutschen Nationalbibliothek in Leipzig öffnen wegen einer Personalversammlung erst ab 13 Uhr. // Tuesday 9 December 2025: The reading rooms of the German National Library in Leipzig will open at 13:00 due to a staff assembly.
 
 

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Titel Tensile Test of Bulk- and Surface-Micromachined 0.1-µm Thick Silicon Film using Electrostatic Force Grip System / by Toshiyuki Tsuchiya, Jiro Sakata, M. Shikida, K. Sato
Person(en) Tsuchiya, Toshiyuki (Verfasser)
Sakata, Jiro (Verfasser)
Shikida, M. (Verfasser)
Sato, K. (Verfasser)
Organisation(en) SpringerLink (Online service) (Sonstige)
Umfang/Format Online-Ressource : online resource.
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2021012819540556609204
DOI: 10.1557/PROC-687-B5.45
URL https://doi.org/10.1557/PROC-687-B5.45
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2002
DDC-Notation 620.19 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Materials Research Society: MRS online proceedings library (Bd. 687, 15.3.2011, Nr. 1, date:12.2001: 1-6)
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

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