Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/980265169 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Neue Methoden zur automatischen Kalibrierung von Modellparametern für die Simulation optischer Lithographieprozesse / vorgelegt von Bernd Tollkühn |
| Person(en) | Tollkühn, Bernd (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2006 |
| Umfang/Format | Online-Ressource, ca. 6,5 MB |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Tollkühn, Bernd: Neue Methoden zur automatischen Kalibrierung von Modellparametern für die Simulation optischer Lithographieprozesse |
| Hochschulschrift | Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 2006 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:bvb:29-opus-3968 |
| URL |
http://www.opus.ub.uni-erlangen.de/opus/volltexte/2006/396/pdf/BerndTollkuehnDissertation.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich) http://www.opus.ub.uni-erlangen.de/opus/volltexte/2006/396/index.html (Verlag) |
| Schlagwörter | Lithographie <Halbleitertechnologie> ; Computersimulation ; Kalibrieren <Messtechnik> ; Korrelationsanalyse ; Optimierung ; Genetischer Algorithmus |
| DDC-Notation | 621.381531 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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