Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

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Neuigkeiten Dienstag 18. November 2025: Die Lesesäle der Deutschen Nationalbibliothek in Frankfurt am Main öffnen wegen einer Personalversammlung erst ab 13 Uhr. // Tuesday 18 November 2025: The reading rooms of the German National Library in Frankfurt am Main will open at 13:00 due to a staff assembly.
 
Neuigkeiten Mittwoch, 19. November 2025: Die Deutsche Nationalbibliothek in Leipzig ist geschlossen.
 
 

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Art des Inhalts Konferenzschrift, 2009, Dresden
Titel EMLC 2009 : lectures held at the GMM conference, January 12 - 15, 2009 in Dresden, Germany / 25th European Mask and Lithography Conference ...
Organisation(en) EMLC (25 : 2009 : Dresden) (Herausgebendes Organ)
Verlag Berlin ; Offenbach : VDE-Verl.
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2009
Umfang/Format 1 CD-ROM ; 12 cm, 56 gr.
ISBN/Einband/Preis 978-3-8007-3154-1 : EUR 167.00
Bestellnummer(n) 453154
EAN 9783800731541
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik: GMM-Fachbericht ; 59
Anmerkungen Titel auf dem Behältnis
Schlagwörter Maskentechnik ; Kongress ; Dresden <2009> ; CD-ROM
Fotolithografie <Halbleitertechnologie> ; Kongress ; Dresden <2009> ; CD-ROM
DDC-Notation 621.38152 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

Frankfurt Signatur: 2009 CRA 110
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: 2009 CRA 1081
Bereitstellung in Leipzig




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