Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1070150231 |
Art des Inhalts | Hochschulschrift |
Titel | Pattern formation on Si surfaces by low-energy ion beam erosion / Marina Inés Cornejo |
Person(en) | Cornejo, Marina Inés (Verfasser) |
Ausgabe | 1. Aufl. |
Verlag | Aachen : Shaker |
Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2011 |
Umfang/Format | Online-Ressource : 26 farb. Ill. (pdf) |
Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Cornejo, Marina Inés: Pattern formation on Si surfaces by low-energy ion beam erosion |
Hochschulschrift | Zugl.: Universität des Saarlandes, Saarbrücken, Diss., 2011 |
Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:101:1-201504265282 |
ISBN/Einband/Preis | 978-3-8440-0462-5 |
Sprache(n) | Englisch (eng) |
Beziehungen | Saarbrücker Reihe Materialwissenschaft und Werkstofftechnik ; 29 |
Anmerkungen | Lizenzpflichtig |
Schlagwörter | Silicium ; Oberflächenbehandlung ; Breitstrahl-Ionenquelle ; Musterbildung ; Nanostruktur |
DDC-Notation | 620.44 [DDC22ger]; 620.5 [DDC22ger] |
Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
