Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Oberflächenqualität und Randzonenbeeinflussung beim Planschleifen einkristalliner Siliciumscheiben / Bernhard Frank Holz
Person(en) Holz, Bernhard Frank (Verfasser)
Verlag München ; Wien : Hanser
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 1994
Umfang/Format III, 184 S. : graph. Darst. ; 21 cm
Hochschulschrift Zugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss., 1994
ISBN/Einband/Preis 978-3-446-17801-4 kart.
3-446-17801-5 kart.
Beziehungen Produktionstechnik - Berlin ; 143
Anmerkungen Status nach VGG: vergriffen
Schlagwörter Wafer ; Silicium ; Flachschleifen ; Oberflächenschaden ; Mikrostruktur ; Randschicht
Sachgruppe(n) 36 Energie-, Maschinen-, Fertigungstechnik ; 37 Elektrotechnik
Weiterführende Informationen Inhaltsverzeichnis

Frankfurt Signatur: 1994 A 28532
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: 1994 A 28532
Bereitstellung in Leipzig




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