Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Donnerstag, 11. September 2025: Die Deutsche Nationalbibliothek öffnet wegen eines Beschäftigtentreffens an beiden Standorten erst um 15 Uhr. // Thursday, 11 September 2025: The German National Library will not open until 15:00 due to a staff meeting at both locations.
 
Neuigkeiten Vom 10. September 2025, 13 Uhr, bis 11. September 2025, 22 Uhr, kann es zu Einschränkungen bei der Bereitstellung von Medienwerken kommen. Wir informieren Sie per E-Mail über den aktuellen Stand Ihrer Bestellungen. // From 13:00 on 10 September 2025 until 22:00 on 11 September 2025, there may be restrictions on the provision of media works. We will inform you by email about the current status of your orders.
 
 

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Modellierung und Untersuchungen zur Esterspaltung in modernen Photoresistmaterialien / vorgelegt von Pedro Javier Rodríguez Cantó
Person(en) Rodríguez Cantó, Pedro Javier (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2006
Umfang/Format Online-Ressource, ca. 2,3 MB
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Rodríguez Cantó, Pedro Javier: Modellierung und Untersuchungen zur Esterspaltung in modernen Photoresistmaterialien
Hochschulschrift Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 2006
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:bvb:29-opus-4790
URL http://www.opus.ub.uni-erlangen.de/opus/volltexte/2006/479/pdf/Diss_Rodriguez.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
http://www.opus.ub.uni-erlangen.de/opus/volltexte/2006/479/index.html (Verlag)
Schlagwörter Photoresist ; Tiefes Ultraviolett ; Diffusion ; Säure ; Belichtung ; Inhibitor ; Modellierung ; Simulation ; Lithographie <Halbleitertechnologie> ; Chemische Reaktion
DDC-Notation 547.2 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 540 Chemie

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