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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Titannitrid- und Titan-Schichten für die Nano-Elektromechanik / vorgelegt von Marcus Pritschow
Person(en) Pritschow, Marcus (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2007
Umfang/Format Online-Ressource, ca. 7,5 MB
Hochschulschrift Stuttgart, Univ., Diss., 2007
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:bsz:93-opus-30574
URL http://elib.uni-stuttgart.de/opus/volltexte/2007/3057/pdf/pritschow.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
http://elib.uni-stuttgart.de/opus/volltexte/2007/3057/ (Verlag)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Schlagwörter Titannitrid ; Titan ; Magnetronsputtern ; Mikromechanik ; Mikrosystemtechnik ; Eigenspannung
DDC-Notation 621 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

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