Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/955970989 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Plasmadiagnostische Charakterisierung der Magnetronentladung zur c-BN-Abscheidung / vorgelegt von: Thomas Welzel |
| Person(en) | Welzel, Thomas (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 1998 |
| Umfang/Format | ca. 10,5 MB |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Welzel, Thomas: Plasmadiagnostische Charakterisierung der Magnetronentladung zur c-BN-Abscheidung |
| Hochschulschrift | Chemnitz, Zwickau, Techn. Univ., Diss., 1998 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:bsz:ch1-199900066 |
| URL | http://archiv.tu-chemnitz.de/pub/1999/0006/data/welzel.ps |
| Schlagwörter |
CBN <Werkstoff> ; Magnetronsputtern ; Niederdruckentladung ; Online-Publikation Niederdruckentladung ; Plasmadiagnostik ; Emissionsspektroskopie ; Langmuir-Sonde ; Laserinduzierte Fluoreszenz ; Online-Publikation |
| Sachgruppe(n) | 36 Energie-, Maschinen-, Fertigungstechnik ; 42 Technische Chemie, Lebensmitteltechnologie, Textiltechnik und andere Technologien ; 29 Physik, Astronomie |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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