Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: dcs=621.3*
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/984554947 |
| Art des Inhalts | Konferenzschrift, 2007, Grenoble |
| Titel | EMLC 2007 : lectures held at the GMM conference, January 22 - 26, 2007 in Grenoble, France / 23rd European Mask and Lithography Conference ... Uwe Behringer, conference chair, ed. ... |
| Person(en) | Behringer, Uwe (Mitwirkender) |
| Organisation(en) | EMLC (23 : 2007 : Grenoble) (Herausgebendes Organ) |
| Verlag | Berlin ; Offenbach : VDE-Verl. |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2007 |
| Umfang/Format | 1 CD-ROM : farb. ; 12 cm |
| ISBN/Einband/Preis |
978-3-8007-3032-2 : EUR 180.00 3-8007-3032-4 : EUR 180.00 |
| Bestellnummer(n) | 563032 |
| EAN | 9783800730322 |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Beziehungen | SPIE, The International Society for Optical Engineering: Proceedings ; Vol. 6533 |
| Anmerkungen | Titel auf dem Behältnis |
| Schlagwörter |
Maskentechnik ; Kongress ; Grenoble <2007> ; CD-ROM Fotolithografie <Halbleitertechnologie> ; Kongress ; Grenoble <2007> ; CD-ROM |
| DDC-Notation | 621.38152 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Frankfurt |
Signatur: 2007 CRA 11625
Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2007 CRA 2652
Bereitstellung in Leipzig |
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