Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

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Art des Inhalts Konferenzschrift, 2007, Grenoble
Titel EMLC 2007 : lectures held at the GMM conference, January 22 - 26, 2007 in Grenoble, France / 23rd European Mask and Lithography Conference ... Uwe Behringer, conference chair, ed. ...
Person(en) Behringer, Uwe (Mitwirkender)
Organisation(en) EMLC (23 : 2007 : Grenoble) (Herausgebendes Organ)
Verlag Berlin ; Offenbach : VDE-Verl.
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2007
Umfang/Format 1 CD-ROM : farb. ; 12 cm
ISBN/Einband/Preis 978-3-8007-3032-2 : EUR 180.00
3-8007-3032-4 : EUR 180.00
Bestellnummer(n) 563032
EAN 9783800730322
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen SPIE, The International Society for Optical Engineering: Proceedings ; Vol. 6533
Anmerkungen Titel auf dem Behältnis
Schlagwörter Maskentechnik ; Kongress ; Grenoble <2007> ; CD-ROM
Fotolithografie <Halbleitertechnologie> ; Kongress ; Grenoble <2007> ; CD-ROM
DDC-Notation 621.38152 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

Frankfurt Signatur: 2007 CRA 11625
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: 2007 CRA 2652
Bereitstellung in Leipzig




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