Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

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Titel Temperaturmessung und -regelung bei der Dünnschichtaufdampfung im Hochvakuum / vorgelegt von Bernd-Georg Münzer
Person(en) Münzer, Bernd-Georg (Verfasser)
Umfang/Format 30 cm
Hochschulschrift Dresden, Techn. Univ., Fak. für Mathematik u. Naturwiss., Diss. A, 1969. - (Nicht für den Austausch)
Schlagwörter Mikroelektronische Bauelemente / Hochvakuumaufdampftechnik ; Aufdampftechnik / mikroelektron. Bauelemente ; Dünnschichttechnik ; Hochvakuumtechnik / mikroelektron. Dünnschichtelemente
Sachgruppe(n) 0300 Mathematik, Physik, Astronomie
Zugehörige Bände 2 Publikationen
  1. Temperaturmessung und -regelung bei der Dünnschichtaufdampfung im Hochvakuum / [1.]
    1969
  2. Temperaturmessung und -regelung bei der Dünnschichtaufdampfung im Hochvakuum / [2.]
    1969





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