Entwicklung und Charakterisierung piezokeramischer Dickschichten mit hohem aktorischen Potenzial für aktive Mikrosysteme

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Link zu diesem Datensatz	https://d-nb.info/1312266503
Titel	Entwicklung und Charakterisierung piezokeramischer Dickschichten mit hohem aktorischen Potenzial für aktive Mikrosysteme / Dörthe Ernst ; Gutachter: Alexander Michaelis, Noel Thomas, Gerald Gerlach
Person(en)	Ernst, Dörthe (Verfasser) Michaelis, Alexander (Gutachter) Thomas, Noel (Gutachter) Gerlach, Gerald (Gutachter)
Verlag	Dresden : Technische Universität Dresden
Zeitliche Einordnung	Erscheinungsdatum: 2023
Umfang/Format	Online-Ressource
Hochschulschrift	Dissertation, Dresden, Technische Universität Dresden, 2022
Persistent Identifier	URN: urn:nbn:de:bsz:14-qucosa2-884154
URL	(kostenfrei zugänglich)
Sprache(n)	Deutsch (ger)
Schlagwörter	Piezokeramik* ; LTCC* ; Herstellung* ; PZT* ; Piezoelektrischer Aktor* ; Verbundwerkstoff* ; MEMS* (*maschinell ermittelt)
DDC-Notation	621.3815 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sachgruppe(n)	621.3 Elektrotechnik, Elektronik

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